技術(shù)文章
日本watty燃?xì)饧訜崞鞯膬?yōu)勢
日本watty燃?xì)饧訜崞鞯膬?yōu)勢
用于半導(dǎo)體/FPD制造的超高純度氣體供應(yīng)/
加熱各種分析儀的超高純氣體供應(yīng)/加熱
非常適合為熱處理爐供應(yīng)氣氛氣體
S型流量10L，L型流量100L，
工作溫度300℃< 特點(diǎn) >
靈活的 飛機(jī) 真空兼容 × × × <加熱目標(biāo)>
管道/容器 金屬 液體 氣體 ○ ○ × × ○ ○
【換熱器特點(diǎn)】
1. S/M/L型采用EP配管結(jié)構(gòu)。
?接頭、配管等氣體接觸部全部采用不銹鋼（SUS316L）材質(zhì)。
- 加熱后的氣體在不接觸加熱器表面的情況下被加熱。當(dāng)它在干凈的管道中傳輸時(shí)被加熱。
2.
擁有最小流量10L/min～最大100L/min、最大操作量的小型、輕量、高效、各尺寸的最佳規(guī)格的產(chǎn)品陣容溫度300°C。
3. 標(biāo)配熱電偶和恒溫器
?溫度控制和防止過熱也是標(biāo)配。接線也很容易。
4, 入口/出口接頭可以更換
?標(biāo)準(zhǔn)接頭為 UJR 1/4 內(nèi)螺紋尺寸。
? 支持從 1/4 到 1/2 大小的入口/出口尺寸。
規(guī)格
| 類型 | S型 | M型 | L型 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| WEX-S * -2 * | WEX-S * -3 * | WEX-M * -2 * | WEX-M * -3 * | WEX-L * -3 * | |
| 可加熱流體 | 惰性氣體 | ||||
| 最高工作溫度 | 200℃ | 300℃ | 200℃ | 300℃ | 300℃ |
| 額定流量 | ~ 10L/分鐘 | ~ 50L/分鐘 | ~ 100L/分鐘 | ||
| 額定容量 | 130W | 190W | 400W | 560W | 1300W |
| 最大工作壓力 | 0.5Mpa | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | UJR"1/4 女 | UJR"3/8 女 | |||
| 氣體接觸材料 | SUS316L（WEP規(guī)格） | ||||
| 泄漏率 | 1 x 10 10 Pa·m3/sec以下 | ||||
| 電源供應(yīng) | AC100 或 AC200 | ||||
| 熱電偶 | K型2級 | ||||
| 恒溫器 | 光盤類型 | 塊類型 | 光盤類型 | 塊類型 | 塊類型 |
| 機(jī)身外形尺寸（高 x 寬 x 深） | 75 × 75 × 98 | 96 x 102 x 128 | 125.5 x 100 x 115 | 155.5 x 130 x 145 | 178 x 150 x 165 |
| 體重 | 約1公斤 | 約1.2kg | 約2kg | 約2.3kg | 約4kg |
| 接線方式 | 連接器拆卸 | 引線 2m | 連接器拆卸 | 引線 2m | 連接器拆卸 |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | * 1 | ※四 | * 2 | ※五 | * 3 |
* 1 熱/電源連接器 x 1 K 熱電偶連接器 x 1 安裝支架 x 1
* 2 熱/電源連接器 x 1 K 熱電偶連接器 x 1 安裝支架 x 2
應(yīng)用實(shí)例
S型圖紙
溫度特性示例
產(chǎn)品目錄
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