產(chǎn)品資料
半導(dǎo)體制造測(cè)量超微量濃度監(jiān)測(cè)水分計(jì)
產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體制造測(cè)量超微量濃度監(jiān)測(cè)水分計(jì)
產(chǎn)品型號(hào): Falcon Trace系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體制造測(cè)量超微量濃度監(jiān)測(cè)水分計(jì)小型尺寸：采用直徑為3.3毫米的壓電水晶球，使得設(shè)備體積小巧。高靈敏度測(cè)量：能夠按指令測(cè)量ppmv或ppbv級(jí)別的微量水分。快速測(cè)量：使用10nm厚的敏感膜，測(cè)量時(shí)間小于1秒或小于30秒。
半導(dǎo)體制造測(cè)量超微量濃度監(jiān)測(cè)水分計(jì) 的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體制造測(cè)量超微量濃度監(jiān)測(cè)水分計(jì)
半導(dǎo)體制造測(cè)量超微量濃度監(jiān)測(cè)水分計(jì)
- 小型尺寸：采用直徑為3.3毫米的壓電水晶球，使得設(shè)備體積小巧。
- 高靈敏度測(cè)量：能夠按指令測(cè)量ppmv或ppbv級(jí)別的微量水分。
- 快速測(cè)量：使用10nm厚的敏感膜，測(cè)量時(shí)間小于1秒或小于30秒。
- 彈性表面波（SAW）技術(shù)：利用交叉狀電極（IDT：Inter Digital Transducer）在表面產(chǎn)生彈性波，對(duì)小球赤道上噴涂的感應(yīng)膜的輕微變化做出反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)高靈敏度傳感。
- 應(yīng)用優(yōu)勢(shì)：適合各種測(cè)量應(yīng)用，配備功能系列，實(shí)現(xiàn)傳感器單元的小型化。高靈敏度且范圍寬，即使微量的水也能檢測(cè)出。高速檢測(cè)利用厚度僅為10nm的感應(yīng)膜，實(shí)現(xiàn)的高速檢測(cè)。實(shí)時(shí)控制對(duì)難以控制的水含量進(jìn)行實(shí)時(shí)控制。
- 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)：響應(yīng)速度極快，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)含水量變化，可測(cè)量含水量和背景氣體成分分析兩項(xiàng)。
- 精確測(cè)量：氣體中的水濃度可以精確測(cè)量到1ppb（十億分之一）的水平。
這些特點(diǎn)使得Falcon Trace系列水分計(jì)在半導(dǎo)體制造、蓄電池制造、工業(yè)煤氣制造等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
- 小型尺寸：采用直徑為3.3毫米的壓電水晶球，使得設(shè)備體積小巧。
- 高靈敏度測(cè)量：能夠按指令測(cè)量ppmv或ppbv級(jí)別的微量水分。
- 快速測(cè)量：使用10nm厚的敏感膜，測(cè)量時(shí)間小于1秒或小于30秒。
- 彈性表面波（SAW）技術(shù)：利用交叉狀電極（IDT：Inter Digital Transducer）在表面產(chǎn)生彈性波，對(duì)小球赤道上噴涂的感應(yīng)膜的輕微變化做出反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)高靈敏度傳感。
- 應(yīng)用優(yōu)勢(shì)：適合各種測(cè)量應(yīng)用，配備功能系列，實(shí)現(xiàn)傳感器單元的小型化。高靈敏度且范圍寬，即使微量的水也能檢測(cè)出。高速檢測(cè)利用厚度僅為10nm的感應(yīng)膜，實(shí)現(xiàn)的高速檢測(cè)。實(shí)時(shí)控制對(duì)難以控制的水含量進(jìn)行實(shí)時(shí)控制。
- 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)：響應(yīng)速度極快，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)含水量變化，可測(cè)量含水量和背景氣體成分分析兩項(xiàng)。
- 精確測(cè)量：氣體中的水濃度可以精確測(cè)量到1ppb（十億分之一）的水平。
這些特點(diǎn)使得Falcon Trace系列水分計(jì)在半導(dǎo)體制造、蓄電池制造、工業(yè)煤氣制造等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
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