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產(chǎn)品資料
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光學(xué)工業(yè)適用多級(jí)直聯(lián)式干式羅茨真空泵

產(chǎn)品名稱: 光學(xué)工業(yè)適用多級(jí)直聯(lián)式干式羅茨真空泵
產(chǎn)品型號(hào): TRV系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 光學(xué)工業(yè)適用多級(jí)直聯(lián)式干式羅茨真空泵
日本 Unozawa(宇野澤)TRV 系列是一款“多級(jí)直聯(lián)式干式羅茨真空泵",明確將其列為光學(xué)工業(yè)適用機(jī)型,可全程無(wú)油運(yùn)行,滿足光學(xué)鍍膜、鏡頭脫水等潔凈度要求 。核心特點(diǎn)如下:
結(jié)構(gòu)
多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子直聯(lián)變頻電機(jī),無(wú)齒輪箱、無(wú)潤(rùn)滑油接觸真空腔
立式布局,占地 ≤ 0.2 m²,可穿墻安裝,維護(hù)面僅正面一側(cè)
光學(xué)行業(yè)對(duì)應(yīng)性能
單臺(tái)抽速 180-1 200 m³

光學(xué)工業(yè)適用多級(jí)直聯(lián)式干式羅茨真空泵 的詳細(xì)介紹

光學(xué)工業(yè)適用多級(jí)直聯(lián)式干式羅茨真空泵

光學(xué)工業(yè)適用多級(jí)直聯(lián)式干式羅茨真空泵

日本 Unozawa(宇野澤)TRV 系列是一款“多級(jí)直聯(lián)式干式羅茨真空泵",明確將其列為光學(xué)工業(yè)適用機(jī)型,可全程無(wú)油運(yùn)行,滿足光學(xué)鍍膜、鏡頭脫水等潔凈度要求。核心特點(diǎn)如下:
  1. 結(jié)構(gòu)
    • 多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子直聯(lián)變頻電機(jī),無(wú)齒輪箱、無(wú)潤(rùn)滑油接觸真空腔
    • 立式布局,占地 ≤ 0.2 m2,可穿墻安裝,維護(hù)面僅正面一側(cè)
  2. 光學(xué)行業(yè)對(duì)應(yīng)性能
    • 單臺(tái)抽速 180-1 200 m3/h(50 Hz)多型號(hào)可選,大氣壓→10 Pa 連續(xù)工作,適合快速粗抽與 TMP 背泵
    • 內(nèi)置氣體冷卻回流通道,可排可凝性溶劑(酒精、丙酮)及水汽,避免光學(xué)元件水痕
    • 轉(zhuǎn)子經(jīng)動(dòng)平衡+排氣消音器,噪音 ≤ 62 dB(A),1 m 聲壓級(jí),可直接放于潔凈室或光學(xué)車間內(nèi)
  3. 材質(zhì)與潔凈度
    • 過(guò)流部標(biāo)準(zhǔn)陽(yáng)極氧化鋁,可選 304/316L 全不銹鋼規(guī)格,滿足 100 級(jí)潔凈室 particle ≤ 10 pcs/ft3 (0.3 µm)
    • 軸封采用高差壓雙重唇形密封+氮?dú)馄琳希瑢?shí)現(xiàn) ≤ 1×10?? Pa·m3/s 氦漏率
  4. 典型光學(xué)工藝
    • 精密光學(xué)鍍膜機(jī)(電子束蒸發(fā)、離子輔助 IAD)粗抽與維持
    • 相機(jī)鏡頭、激光晶體真空脫水、脫氣
    • 光學(xué)塑料顆粒干燥前級(jí)泵,防止油分子反擴(kuò)散造成黃變
日本 Unozawa(宇野澤)TRV 系列是一款“多級(jí)直聯(lián)式干式羅茨真空泵",明確將其列為光學(xué)工業(yè)適用機(jī)型,可全程無(wú)油運(yùn)行,滿足光學(xué)鍍膜、鏡頭脫水等潔凈度要求
。核心特點(diǎn)如下:
  1. 結(jié)構(gòu)
    • 多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子直聯(lián)變頻電機(jī),無(wú)齒輪箱、無(wú)潤(rùn)滑油接觸真空腔
    • 立式布局,占地 ≤ 0.2 m2,可穿墻安裝,維護(hù)面僅正面一側(cè)
  2. 光學(xué)行業(yè)對(duì)應(yīng)性能
    • 單臺(tái)抽速 180-1 200 m3/h(50 Hz)多型號(hào)可選,大氣壓→10 Pa 連續(xù)工作,適合快速粗抽與 TMP 背泵
    • 內(nèi)置氣體冷卻回流通道,可排可凝性溶劑(酒精、丙酮)及水汽,避免光學(xué)元件水痕
    • 轉(zhuǎn)子經(jīng)動(dòng)平衡+排氣消音器,噪音 ≤ 62 dB(A),1 m 聲壓級(jí),可直接放于潔凈室或光學(xué)車間內(nèi)
  3. 材質(zhì)與潔凈度
    • 過(guò)流部標(biāo)準(zhǔn)陽(yáng)極氧化鋁,可選 304/316L 全不銹鋼規(guī)格,滿足 100 級(jí)潔凈室 particle ≤ 10 pcs/ft3 (0.3 µm)
    • 軸封采用高差壓雙重唇形密封+氮?dú)馄琳希瑢?shí)現(xiàn) ≤ 1×10?? Pa·m3/s 氦漏率
  4. 典型光學(xué)工藝
    • 精密光學(xué)鍍膜機(jī)(電子束蒸發(fā)、離子輔助 IAD)粗抽與維持
    • 相機(jī)鏡頭、激光晶體真空脫水、脫氣
    • 光學(xué)塑料顆粒干燥前級(jí)泵,防止油分子反擴(kuò)散造成黃變



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