電機(jī)直聯(lián)緊湊型水封式自冷卻真空泵

電機(jī)直聯(lián)緊湊型水封式自冷卻真空泵

無(wú)油、單級(jí)、水封、緊湊型 —— 實(shí)驗(yàn)室 & 分析儀器 front-end 標(biāo)準(zhǔn)

一、產(chǎn)品定位

• 水封式無(wú)油：使用去離子水作密封液，零油霧，適合激光、電鏡、半導(dǎo)體前道
• 電機(jī)直聯(lián)：無(wú)皮帶，免維護(hù)，體積比傳統(tǒng)水環(huán)泵小 40%
• 緊湊型：376×185×280 mm，23 kg，可直接放在實(shí)驗(yàn)臺(tái)下方
• 單級(jí)水封：極限真空 33 mbar（abs），飽和水蒸氣 20 mbar，適合含水/有機(jī)溶劑樣

二、核心技術(shù)參數(shù)（LEH30MS）

三、功能亮點(diǎn)

1. 33 mbar 無(wú)油真空：比油旋片更潔凈，適合電鏡、激光腔排氣
2. 水封自冷卻：連續(xù)運(yùn)行 24h 泵體 <40℃，無(wú)需額外冷卻水
3. 可處理水/有機(jī)蒸氣：水封液稀釋冷凝液，無(wú)乳化問(wèn)題
4. 電機(jī)直聯(lián)：無(wú)皮帶，免維護(hù)；轉(zhuǎn)速 2800 rpm，振動(dòng) <2.5 mm/s
5. 緊湊型 23 kg：實(shí)驗(yàn)臺(tái)下方即可安裝，節(jié)省空間
6. 一鍵排水：停機(jī)后打開(kāi)排水閥，自動(dòng)排空泵腔，防止水垢

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)圖

激光器腔體┌─── 腔體 ───┐│             │進(jìn)氣← LEH30MS ← 水汽冷凝器（可選）│             │└─── 回大氣 ──┘

• 泵進(jìn)口接激光腔，出口接冷凝器回收溶劑
• 水封液 0.9 L/min 循環(huán)使用，每周更換一次

五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（實(shí)驗(yàn)室驗(yàn)證）

• 電鏡腔體 50 L，室溫 25 ℃
• LEH30MS 50 Hz 運(yùn)行：
• 2 min 達(dá)到 50 mbar
• 5 min 極限 33 mbar
• 連續(xù) 8 h 水封溫升 <8 ℃，無(wú)乳化

六、選型與配件

七、維護(hù)與可靠性

• 水封液：每周更換，防止水垢（電導(dǎo) <5 µS/cm）
• 進(jìn)氣濾網(wǎng)：每月清洗一次
• 葉輪：無(wú)磨損，壽命 >20 000 h
• 無(wú)油設(shè)計(jì)，無(wú)需換油或處理廢油

八、結(jié)論