產(chǎn)品資料
半導(dǎo)體領(lǐng)域在線高精度測(cè)量高純制藥液加熱器
產(chǎn)品名稱(chēng): 半導(dǎo)體領(lǐng)域在線高精度測(cè)量高純制藥液加熱器
產(chǎn)品型號(hào): ECN型
產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體領(lǐng)域在線高精度測(cè)量高純制藥液加熱器半導(dǎo)體清洗裝置在線用高純度制藥液加熱器在線 · 高純度 · 制藥液 · 加熱器 · PFA/PTFE流路0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年壽命
半導(dǎo)體領(lǐng)域在線高精度測(cè)量高純制藥液加熱器 的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體領(lǐng)域在線高精度測(cè)量高純制藥液加熱器
半導(dǎo)體領(lǐng)域在線高精度測(cè)量高純制藥液加熱器
半導(dǎo)體清洗裝置在線用高純度制藥液加熱器
在線 · 高純度 · 制藥液 · 加熱器 · PFA/PTFE流路
0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年壽命
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體清洗裝置在線用：?jiǎn)纹逑?、CMP后清洗、藥液預(yù)熱
- 高純度制藥液加熱器：HF/H?SO?/NH?OH/有機(jī)溶劑，PFA/PTFE全流路
- 在線加熱：5-500mL/min，0-180℃，±0.1K，真空≤1×10??Pa
- ECN型：PFA/PTFE，在線，高純度，5年壽命
二、核心技術(shù)參數(shù)（ECN型）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 流路材質(zhì) | PFA + PTFE（高純度，無(wú)顆粒） |
| 溫度范圍 | 0 – 180 ℃（全范圍） |
| 精度 | ±0.1 K（±0.1 K，PID） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 流量范圍 | 5 – 500 mL/min（全范圍） |
| 潔凈等級(jí) | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 真空接口 | NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 壽命 | 5 年（連續(xù)運(yùn)行） |
三、功能亮點(diǎn)
- PFA/PTFE 高純流路：無(wú)顆粒，Class 100，無(wú)金屬離子溶出
- 0-180 ℃ 全溫度：PID閉環(huán)，±0.1 K，藥液溫度微變實(shí)時(shí)捕捉
- ≤1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無(wú)泄漏
- 5-500 mL/min 寬流量：?jiǎn)纹逑?20 mL/min，CMP 400 mL/min，一臺(tái)覆蓋
- 1.9 kg 超輕：A5底面積，可手提移動(dòng)，通風(fēng)櫥內(nèi)即用
半導(dǎo)體清洗裝置在線用高純度制藥液加熱器
在線 · 高純度 · 制藥液 · 加熱器 · PFA/PTFE流路
0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年壽命
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體清洗裝置在線用：?jiǎn)纹逑?、CMP后清洗、藥液預(yù)熱
- 高純度制藥液加熱器：HF/H?SO?/NH?OH/有機(jī)溶劑，PFA/PTFE全流路
- 在線加熱：5-500mL/min，0-180℃，±0.1K，真空≤1×10??Pa
- ECN型：PFA/PTFE，在線，高純度，5年壽命
二、核心技術(shù)參數(shù)（ECN型）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 流路材質(zhì) | PFA + PTFE（高純度，無(wú)顆粒） |
| 溫度范圍 | 0 – 180 ℃（全范圍） |
| 精度 | ±0.1 K（±0.1 K，PID） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 流量范圍 | 5 – 500 mL/min（全范圍） |
| 潔凈等級(jí) | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 真空接口 | NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 壽命 | 5 年（連續(xù)運(yùn)行） |
三、功能亮點(diǎn)
- PFA/PTFE 高純流路：無(wú)顆粒，Class 100，無(wú)金屬離子溶出
- 0-180 ℃ 全溫度：PID閉環(huán)，±0.1 K，藥液溫度微變實(shí)時(shí)捕捉
- ≤1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無(wú)泄漏
- 5-500 mL/min 寬流量：?jiǎn)纹逑?20 mL/min，CMP 400 mL/min，一臺(tái)覆蓋
- 1.9 kg 超輕：A5底面積，可手提移動(dòng)，通風(fēng)櫥內(nèi)即用
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