簡易型高純度半導(dǎo)體氣體測量用微量分析計

簡易型高純度半導(dǎo)體氣體測量用微量分析計

1. 技術(shù)路線
   采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術(shù)，通過測量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時間，直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度，無需化學(xué)試劑或耗材 。
2. 代表機型
• 在 SPARK 基礎(chǔ)上擴展了 NH? 等更多雜質(zhì)通道，同樣免維護
• 主要面向超高純氣體與半導(dǎo)體工藝
• 免校準(zhǔn)、免耗材，生命周期成本低
• 小流量即可高響應(yīng)，可測 H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質(zhì)
• 適用于高純氣體、半導(dǎo)體特氣、低溫分離裝置等場景
• SPARK 系列
• HALO KA Max 系列
3. 性能亮點
• 檢測下限：常見雜質(zhì) 1 ppb–100 ppt 級
• 免校準(zhǔn)、長期零漂移，適合無人值守在線運行
• 接氣部分為 SUS 等耐腐材質(zhì)，可測腐蝕性氣體；傳感器與激光/探測器非接觸，長期穩(wěn)定性高

1. 技術(shù)路線
   采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術(shù)，通過測量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時間，直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度，無需化學(xué)試劑或耗材 。
2. 代表機型
• 在 SPARK 基礎(chǔ)上擴展了 NH? 等更多雜質(zhì)通道，同樣免維護
• 主要面向超高純氣體與半導(dǎo)體工藝
• 免校準(zhǔn)、免耗材，生命周期成本低
• 小流量即可高響應(yīng)，可測 H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質(zhì)
• 適用于高純氣體、半導(dǎo)體特氣、低溫分離裝置等場景
• SPARK 系列
• HALO KA Max 系列
3. 性能亮點
• 檢測下限：常見雜質(zhì) 1 ppb–100 ppt 級
• 免校準(zhǔn)、長期零漂移，適合無人值守在線運行
• 接氣部分為 SUS 等耐腐材質(zhì)，可測腐蝕性氣體；傳感器與激光/探測器非接觸，長期穩(wěn)定性高

1. 典型應(yīng)用
• 半導(dǎo)體廠高純 N?、H?、Ar、He 中 H?O、CO、CO?、CH?、NH? 的 ppb 級監(jiān)控
• 空分、低溫分離裝置產(chǎn)品質(zhì)量保證
• 鋼瓶充裝、槽車運輸過程抽檢
2. 使用與維護
• 開機即用，無需量程切換、漂移校正或耗材更換
• 結(jié)構(gòu)緊湊，可臺式、19″機架或便攜式安裝；支持模擬/數(shù)字輸出，方便接入 DCS