產(chǎn)品資料
實(shí)驗(yàn)級半導(dǎo)體材料桌上型CMP 加工研磨拋光機(jī)
產(chǎn)品名稱: 實(shí)驗(yàn)級半導(dǎo)體材料桌上型CMP 加工研磨拋光機(jī)
產(chǎn)品型號: TR15M
產(chǎn)品特點(diǎn): 實(shí)驗(yàn)級半導(dǎo)體材料桌上型CMP 加工研磨拋光機(jī)日本 Techno Rise 桌上型 CMP 加工研磨包裝拋光裝置 TR15M（文獻(xiàn)中具體型號為 TR15M-TRK1）是一款用于 300 mm 以下晶圓（或小樣片）的實(shí)驗(yàn)級化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）平臺，核心信息如下：1. 設(shè)備定位主要面向漿料開發(fā)、工藝驗(yàn)證、小批量試產(chǎn)，可完成氧化硅、氮化硅、金屬（Cu、W）等薄膜的去除與平坦化 。2. 關(guān)鍵規(guī)格（
實(shí)驗(yàn)級半導(dǎo)體材料桌上型CMP 加工研磨拋光機(jī) 的詳細(xì)介紹
實(shí)驗(yàn)級半導(dǎo)體材料桌上型CMP 加工研磨拋光機(jī)
實(shí)驗(yàn)級半導(dǎo)體材料桌上型CMP 加工研磨拋光機(jī)
日本 Techno Rise 桌上型 CMP 加工研磨包裝拋光裝置 TR15M（文獻(xiàn)中具體型號為 TR15M-TRK1）是一款用于 300 mm 以下晶圓（或小樣片）的實(shí)驗(yàn)級化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）平臺，核心信息如下：
1. 設(shè)備定位
- 主要面向漿料開發(fā)、工藝驗(yàn)證、小批量試產(chǎn)，可完成氧化硅、氮化硅、金屬（Cu、W）等薄膜的去除與平坦化 。
2. 關(guān)鍵規(guī)格（公開文獻(xiàn)值）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 壓盤直徑 | 380 mm |
| 最大樣片尺寸 | 40 mm × 40 mm（標(biāo)準(zhǔn)切片） |
| 加壓方式 | 砝碼加載，常用 300 g f/cm2（≈ 29.4 kPa） |
| 轉(zhuǎn)速 | 壓盤 90–100 rpm；保持器 90–110 rpm（同向旋轉(zhuǎn)） |
| 漿料流量 | 50 mL/min（中心滴注） |
| 典型去除速率 | 氧化硅膜 200–400 nm/min（視漿料而定） |
| 工藝時(shí)間 | 1 min 即可磨穿 2000 nm TEOS 氧化膜 |
3. 系統(tǒng)組成
- 桌上型一體化結(jié)構(gòu)，內(nèi)置蠕動泵、漿料槽、廢液盤，可放標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)柜；
- 兼容市售聚氨酯拋光墊（IC-1000/Suba400 等），換墊無需拆主軸；
- 可升級終點(diǎn)檢測模塊（摩擦力或光學(xué)反射式），用于精確停磨。
4. 典型應(yīng)用文獻(xiàn)案例
- 氧化鈰漿料篩選：在 TR15M 上用 1 min 拋光，對比不同 CeO? 粒徑對氧化硅去除速率與缺陷影響 ；
- 低 k 介質(zhì) CMP：驗(yàn)證低壓力（＜200 g f/cm2）條件下凹陷-腐蝕行為，為 28 nm 以下 BEOL 工藝窗口提供數(shù)據(jù)。
日本 Techno Rise 桌上型 CMP 加工研磨包裝拋光裝置 TR15M（文獻(xiàn)中具體型號為 TR15M-TRK1）是一款用于 300 mm 以下晶圓（或小樣片）的實(shí)驗(yàn)級化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）平臺，核心信息如下：
1. 設(shè)備定位
- 主要面向漿料開發(fā)、工藝驗(yàn)證、小批量試產(chǎn)，可完成氧化硅、氮化硅、金屬（Cu、W）等薄膜的去除與平坦化 。
2. 關(guān)鍵規(guī)格（公開文獻(xiàn)值）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 壓盤直徑 | 380 mm |
| 最大樣片尺寸 | 40 mm × 40 mm（標(biāo)準(zhǔn)切片） |
| 加壓方式 | 砝碼加載，常用 300 g f/cm2（≈ 29.4 kPa） |
| 轉(zhuǎn)速 | 壓盤 90–100 rpm；保持器 90–110 rpm（同向旋轉(zhuǎn)） |
| 漿料流量 | 50 mL/min（中心滴注） |
| 典型去除速率 | 氧化硅膜 200–400 nm/min（視漿料而定） |
| 工藝時(shí)間 | 1 min 即可磨穿 2000 nm TEOS 氧化膜 |
3. 系統(tǒng)組成
- 桌上型一體化結(jié)構(gòu)，內(nèi)置蠕動泵、漿料槽、廢液盤，可放標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)柜；
- 兼容市售聚氨酯拋光墊（IC-1000/Suba400 等），換墊無需拆主軸；
- 可升級終點(diǎn)檢測模塊（摩擦力或光學(xué)反射式），用于精確停磨。
4. 典型應(yīng)用文獻(xiàn)案例
- 氧化鈰漿料篩選：在 TR15M 上用 1 min 拋光，對比不同 CeO? 粒徑對氧化硅去除速率與缺陷影響 ；
- 低 k 介質(zhì) CMP：驗(yàn)證低壓力（＜200 g f/cm2）條件下凹陷-腐蝕行為，為 28 nm 以下 BEOL 工藝窗口提供數(shù)據(jù)。
日本 Techno Rise 桌上型 CMP 加工研磨包裝拋光裝置 TR15M（文獻(xiàn)中具體型號為 TR15M-TRK1）是一款用于 300 mm 以下晶圓（或小樣片）的實(shí)驗(yàn)級化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）平臺，核心信息如下：
1. 設(shè)備定位
- 主要面向漿料開發(fā)、工藝驗(yàn)證、小批量試產(chǎn)，可完成氧化硅、氮化硅、金屬（Cu、W）等薄膜的去除與平坦化 。
2. 關(guān)鍵規(guī)格（公開文獻(xiàn)值）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 壓盤直徑 | 380 mm |
| 最大樣片尺寸 | 40 mm × 40 mm（標(biāo)準(zhǔn)切片） |
| 加壓方式 | 砝碼加載，常用 300 g f/cm2（≈ 29.4 kPa） |
| 轉(zhuǎn)速 | 壓盤 90–100 rpm；保持器 90–110 rpm（同向旋轉(zhuǎn)） |
| 漿料流量 | 50 mL/min（中心滴注） |
| 典型去除速率 | 氧化硅膜 200–400 nm/min（視漿料而定） |
| 工藝時(shí)間 | 1 min 即可磨穿 2000 nm TEOS 氧化膜 |
3. 系統(tǒng)組成
- 桌上型一體化結(jié)構(gòu)，內(nèi)置蠕動泵、漿料槽、廢液盤，可放標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)柜；
- 兼容市售聚氨酯拋光墊（IC-1000/Suba400 等），換墊無需拆主軸；
- 可升級終點(diǎn)檢測模塊（摩擦力或光學(xué)反射式），用于精確停磨。
4. 典型應(yīng)用文獻(xiàn)案例
- 氧化鈰漿料篩選：在 TR15M 上用 1 min 拋光，對比不同 CeO? 粒徑對氧化硅去除速率與缺陷影響 ；
- 低 k 介質(zhì) CMP：驗(yàn)證低壓力（＜200 g f/cm2）條件下凹陷-腐蝕行為，為 28 nm 以下 BEOL 工藝窗口提供數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品目錄
-
機(jī)械設(shè)備
- 磁選機(jī)
- 純水器
- 超聲波清洗器
- 壓力傳感器
- 流量控制器
- 乳缽機(jī)
- 水準(zhǔn)儀
- 變送器
- 臭氧檢測儀
- 色譜儀
- 拋光機(jī)
- 加熱器
- 張力計(jì)
- 混凝土檢測儀
- 加熱板
- 儲藏
- 壓力機(jī)
- 熱壓機(jī)
- 破碎機(jī)
- 振蕩器
- 電爐
- 分散機(jī)
- 切割機(jī)
- 往復(fù)泵
- 攪拌
- 色選機(jī)
- 擂潰
- 臭氧發(fā)生器
- 氣體發(fā)生器
- 混合器
- 移液器
- 高速相機(jī)
- 涂布機(jī)
- 鍍膜機(jī)
- 試驗(yàn)機(jī)
- 球磨機(jī)
- 均質(zhì)機(jī)
- 脫泡機(jī)
- 點(diǎn)焊機(jī)
- 干燥機(jī)
- 研磨機(jī)
- 密度儀
- 擂搗機(jī)
- 混合設(shè)備
- 除鐵機(jī)
- 電子
- 填充頭
- 裝置
- 點(diǎn)膠筆
- 傳感器
- 冷卻器
- 機(jī)器
- 壓鑄機(jī)
- 氧氣監(jiān)視器
- 系統(tǒng)
- 粉碎機(jī)
- 輪廓儀
- 測量針
- 過濾器
- 比色計(jì)
- 亮度計(jì)
- 噴霧干燥機(jī)
- 真空加熱裝置
- 蒸發(fā)器
- 化學(xué)合成反應(yīng)裝置
- 溫度濕度計(jì)
- 真空泵
- 循環(huán)排水器
- 化學(xué)反應(yīng)裝置
- 工業(yè)設(shè)備
聯(lián)系我們
聯(lián)系人：林經(jīng)理
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
郵編：
QQ：909879999
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
郵編：
QQ：909879999
在線客服