小型半導(dǎo)體光掩膜用紫外線臭氧清洗裝置

小型半導(dǎo)體光掩膜用紫外線臭氧清洗裝置

1. 光源與照射
• 采用高密度網(wǎng)格狀低壓水銀燈，照射區(qū) 206 mm × 206 mm，可均勻覆蓋整個(gè)工件表面 。
• 紫外光（主要波長(zhǎng) 184.9 nm、253.7 nm）同時(shí)產(chǎn)生臭氧，光-臭氧協(xié)同作用，將有機(jī)物氧化分解為 CO?、H?O 等，實(shí)現(xiàn)表面清潔與改性 。
2. 易于操作的賣點(diǎn)
• 整機(jī)緊湊、桌面放置，前開門抽屜式或掀蓋式取放工件，無(wú)需復(fù)雜夾具。
• 內(nèi)置安全聯(lián)鎖：門開燈滅、臭氧泄漏監(jiān)測(cè)、定時(shí)照射、一鍵啟動(dòng)，中文/英文界面，參數(shù)可在面板直接設(shè)定 。
• 無(wú)需外接真空或化學(xué)品，僅需普通 AC 100-240 V 電源與排氣（可選催化分解器），維護(hù)只需定期擦拭燈管表面 。
3. 典型應(yīng)用
• 半導(dǎo)體、光掩膜、MEMS、OLED/LED、玻璃基板、金屬箔等表面有機(jī)物去除，提高接觸角、粘附性與鍵合良率。
• 實(shí)驗(yàn)室或小批量生產(chǎn)場(chǎng)景，尤其適合“需要快速試樣處理、場(chǎng)地有限、人員流動(dòng)大"的場(chǎng)合。
4. 可選升級(jí)
• 同系列 UV-312 照射面積更大（306 mm × 306 mm）；可選旋轉(zhuǎn)臺(tái)、氮?dú)?purge、臭氧分解器等附件 。

1. 光源與照射
• 采用高密度網(wǎng)格狀低壓水銀燈，照射區(qū) 206 mm × 206 mm，可均勻覆蓋整個(gè)工件表面 。
• 紫外光（主要波長(zhǎng) 184.9 nm、253.7 nm）同時(shí)產(chǎn)生臭氧，光-臭氧協(xié)同作用，將有機(jī)物氧化分解為 CO?、H?O 等，實(shí)現(xiàn)表面清潔與改性 。
2. 易于操作的賣點(diǎn)
• 整機(jī)緊湊、桌面放置，前開門抽屜式或掀蓋式取放工件，無(wú)需復(fù)雜夾具。
• 內(nèi)置安全聯(lián)鎖：門開燈滅、臭氧泄漏監(jiān)測(cè)、定時(shí)照射、一鍵啟動(dòng)，中文/英文界面，參數(shù)可在面板直接設(shè)定 。
• 無(wú)需外接真空或化學(xué)品，僅需普通 AC 100-240 V 電源與排氣（可選催化分解器），維護(hù)只需定期擦拭燈管表面 。
3. 典型應(yīng)用
• 半導(dǎo)體、光掩膜、MEMS、OLED/LED、玻璃基板、金屬箔等表面有機(jī)物去除，提高接觸角、粘附性與鍵合良率。
• 實(shí)驗(yàn)室或小批量生產(chǎn)場(chǎng)景，尤其適合“需要快速試樣處理、場(chǎng)地有限、人員流動(dòng)大"的場(chǎng)合

  。
4. 可選升級(jí)
• 同系列 UV-312 照射面積更大（306 mm × 306 mm）；可選旋轉(zhuǎn)臺(tái)、氮?dú)?purge、臭氧分解器等附件 。