產(chǎn)品資料
高純鹵素工藝半導(dǎo)體刻蝕壓力監(jiān)測(cè)壓力傳感器
產(chǎn)品名稱: 高純鹵素工藝半導(dǎo)體刻蝕壓力監(jiān)測(cè)壓力傳感器
產(chǎn)品型號(hào): PC-600系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 高純鹵素工藝半導(dǎo)體刻蝕壓力監(jiān)測(cè)壓力傳感器日本 Pureron 的 PC-600 系列是專為 Cl?、HCl、Br?、BCl?、SiCl?、WF?、HF 等強(qiáng)腐蝕性鹵素氣體 設(shè)計(jì)的 高純壓力傳感器，采用 全貴金屬隔膜 + 哈氏合金殼體 + 特殊鹵素鈍化工藝，在 半導(dǎo)體刻蝕、LED 外延、光伏擴(kuò)散、化工合成 等工藝中實(shí)現(xiàn) 長(zhǎng)期零泄漏、零漂移、零粒子 的精準(zhǔn)壓力監(jiān)測(cè)。? 1. 適用介質(zhì)Cl?、H
高純鹵素工藝半導(dǎo)體刻蝕壓力監(jiān)測(cè)壓力傳感器 的詳細(xì)介紹
高純鹵素工藝半導(dǎo)體刻蝕壓力監(jiān)測(cè)壓力傳感器
高純鹵素工藝半導(dǎo)體刻蝕壓力監(jiān)測(cè)壓力傳感器
日本 Pureron 的 PC-600 系列是專為 Cl?、HCl、Br?、BCl?、SiCl?、WF?、HF 等強(qiáng)腐蝕性鹵素氣體 設(shè)計(jì)的 高純壓力傳感器，采用 全貴金屬隔膜 + 哈氏合金殼體 + 特殊鹵素鈍化工藝，在 半導(dǎo)體刻蝕、LED 外延、光伏擴(kuò)散、化工合成 等工藝中實(shí)現(xiàn) 長(zhǎng)期零泄漏、零漂移、零粒子 的精準(zhǔn)壓力監(jiān)測(cè)。
? 1. 適用介質(zhì)
- Cl?、HCl、BCl?、SiCl?、WF?、HF、Br?、SO?Hal、NF? 等
- 電導(dǎo)率 < 0.1 µS/cm 的超純鹵素氣體
- 離子注入、擴(kuò)散、刻蝕、CVD、ALD 前端供氣面板
? 2. 核心結(jié)構(gòu)
| 部件 | 材質(zhì) | 特點(diǎn) |
|---|---|---|
| 隔膜 | Au（金） + Pt（鉑） 雙層貴金屬膜 | 100 % 抗鹵素腐蝕，無(wú)應(yīng)力腐蝕開(kāi)裂 |
| 殼體 | 哈氏合金 C-276 一體加工 | 無(wú)焊縫死角，電解拋光 Ra ≤ 0.25 µm |
| 密封 | 金屬刃口密封（Metal Seal） | 無(wú) O-ring，氦漏率 < 1×10?11 Pa·m3/s |
| 填充液 | 無(wú)油干式 | 零粒子、零油蒸氣，真空至 10?? Torr |
| 表面鈍化 | 鹵素等離子體鈍化 | 形成 Cr?O? + Au-Pt 復(fù)合鈍化層，壽命 > 10 年 |
? 3. 性能參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 壓力范圍 | 0 – 0.1 MPa、0 – 0.2 MPa、0 – 1 MPa、-0.1 – 0 MPa（真空） |
| 輸出信號(hào) | 4-20 mA（兩線制）、0-5 V、0-10 V、RS-485 Modbus RTU |
| 精度 | ±0.25 % FS（可選 ±0.1 %） |
| 溫度漂移 | ≤ ±0.02 % FS/°C |
| 長(zhǎng)期漂移 | ≤ ±0.1 % FS/年（鹵素氣體中） |
| 工作溫度 | -20 – +80 °C（環(huán)境）、0 – +100 °C（介質(zhì)） |
| 電源 | DC 12 – 30 V |
| 防護(hù) | IP65，可選 IP67 防爆型（Ex db IIC T6） |
| 接氣接口 | 1/4" VCR 內(nèi)螺紋（面密封），可選 1/2" VCR、NW16 |
| 電氣接口 | M12 ×1 4-pin 或 6-pin |
? 4. 真空-高壓兩用
- 真空型 PC-600V：-100 – 0 kPa，金膜 + 哈氏 C276，氦質(zhì)譜檢漏 < 1×10?11 Pa·m3/s
- 高壓型 PC-600H：0 – 1 MPa，全金屬密封，耐壓 4 MPa 爆破測(cè)試
? 5. 典型應(yīng)用點(diǎn)
| 工藝 | 安裝位置 | 目的 |
|---|---|---|
| Cl? 刻蝕 | 質(zhì)量流量計(jì) MFC 入口 | 實(shí)時(shí)壓力補(bǔ)償，防止 MFC 漂移 |
| HCl 擴(kuò)散爐 | 爐管前端供氣面板 | 真空啟動(dòng)階段壓力監(jiān)視 |
| WF? CVD | 前驅(qū)體鋼瓶出口 | 鋼瓶加熱壓力安全聯(lián)鎖 |
| BCl? ICP-RIE | 氣體分配模塊 | 鹵素氣體分配平衡 |
| HF 合成反應(yīng)器 | 反應(yīng)釜頂部 | 腐蝕性氣體壓力遠(yuǎn)傳 |
? 6. 壽命與維護(hù)
- 連續(xù)運(yùn)行 > 5 年 零漂移（實(shí)測(cè) Cl? 中 3 年漂移 < 0.05 %）
- 無(wú)零點(diǎn)調(diào)整：貴金屬隔膜 無(wú)蠕變
- 年度校準(zhǔn)：只需標(biāo)準(zhǔn)氣壓源，無(wú)需拆管
- 返回檢修：Pureron 提供 鹵素凈化 + 金膜再生 服務(wù)
? 7. 選型速查
| 型號(hào) | 量程 | 輸出 | 接口 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| PC-600A-01 | 0 – 0.1 MPa | 4-20 mA | 1/4" VCR | 標(biāo)準(zhǔn)型 |
| PC-600V-00 | -100 – 0 kPa | 0-10 V | 1/2" VCR | 真空型 |
| PC-600H-10 | 0 – 1 MPa | RS-485 | NW16 | 數(shù)字型 |
| PC-600EX-01 | 0 – 0.2 MPa | 4-20 mA | 1/4" VCR | Ex db IIC T6 防爆 |
一句話總結(jié)
PC-600 系列 = “全貴金屬隔膜 + 哈氏 C276 殼體" 的鹵素專用壓力傳感器，無(wú) O-ring、無(wú)油、零漂移，在 Cl?、HCl、WF? 等強(qiáng)腐蝕氣體中 連續(xù) 5 年免維護(hù)，是半導(dǎo)體刻蝕、LED 外延、光伏擴(kuò)散等
PC-600 系列 = “全貴金屬隔膜 + 哈氏 C276 殼體" 的鹵素專用壓力傳感器，無(wú) O-ring、無(wú)油、零漂移，在 Cl?、HCl、WF? 等強(qiáng)腐蝕氣體中 連續(xù) 5 年免維護(hù)，是半導(dǎo)體刻蝕、LED 外延、光伏擴(kuò)散等
產(chǎn)品目錄
-
機(jī)械設(shè)備
- 磁選機(jī)
- 純水器
- 超聲波清洗器
- 壓力傳感器
- 流量控制器
- 乳缽機(jī)
- 水準(zhǔn)儀
- 變送器
- 臭氧檢測(cè)儀
- 色譜儀
- 拋光機(jī)
- 加熱器
- 張力計(jì)
- 混凝土檢測(cè)儀
- 加熱板
- 儲(chǔ)藏
- 壓力機(jī)
- 熱壓機(jī)
- 破碎機(jī)
- 振蕩器
- 電爐
- 分散機(jī)
- 切割機(jī)
- 往復(fù)泵
- 攪拌
- 色選機(jī)
- 擂潰
- 臭氧發(fā)生器
- 氣體發(fā)生器
- 混合器
- 移液器
- 高速相機(jī)
- 涂布機(jī)
- 鍍膜機(jī)
- 試驗(yàn)機(jī)
- 球磨機(jī)
- 均質(zhì)機(jī)
- 脫泡機(jī)
- 點(diǎn)焊機(jī)
- 干燥機(jī)
- 研磨機(jī)
- 密度儀
- 擂搗機(jī)
- 混合設(shè)備
- 除鐵機(jī)
- 電子
- 填充頭
- 裝置
- 點(diǎn)膠筆
- 傳感器
- 冷卻器
- 機(jī)器
- 壓鑄機(jī)
- 氧氣監(jiān)視器
- 系統(tǒng)
- 粉碎機(jī)
- 輪廓儀
- 測(cè)量針
- 過(guò)濾器
- 比色計(jì)
- 亮度計(jì)
- 噴霧干燥機(jī)
- 真空加熱裝置
- 蒸發(fā)器
- 化學(xué)合成反應(yīng)裝置
- 溫度濕度計(jì)
- 真空泵
- 循環(huán)排水器
- 化學(xué)反應(yīng)裝置
- 工業(yè)設(shè)備
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