產(chǎn)品資料
實(shí)驗(yàn)室低壓標(biāo)準(zhǔn)氣體精密壓力調(diào)整器
產(chǎn)品名稱: 實(shí)驗(yàn)室低壓標(biāo)準(zhǔn)氣體精密壓力調(diào)整器
產(chǎn)品型號: 6610型
產(chǎn)品特點(diǎn): 實(shí)驗(yàn)室低壓標(biāo)準(zhǔn)氣體精密壓力調(diào)整器日本 KOFLOC 6610 型是一款專為“低壓、無泄漏、精密控制"場景設(shè)計(jì)的壓力調(diào)節(jié)器，集合了：金屬波紋管＋雙密封＝He 漏率 ≤1×10?? Pa·m³/s平衡閥芯＝入口波動(dòng)自動(dòng)補(bǔ)償，出口壓力不受上游變化影響0–0.4 MPa 全量程精度 ±0.5 % F.S.
實(shí)驗(yàn)室低壓標(biāo)準(zhǔn)氣體精密壓力調(diào)整器 的詳細(xì)介紹
實(shí)驗(yàn)室低壓標(biāo)準(zhǔn)氣體精密壓力調(diào)整器
實(shí)驗(yàn)室低壓標(biāo)準(zhǔn)氣體精密壓力調(diào)整器
日本 KOFLOC 6610 型是一款專為“低壓、無泄漏、精密控制"場景設(shè)計(jì)的壓力調(diào)節(jié)器，集合了：
- 金屬波紋管＋雙密封＝He 漏率 ≤1×10?? Pa·m3/s
- 平衡閥芯＝入口波動(dòng)自動(dòng)補(bǔ)償，出口壓力不受上游變化影響
- 0–0.4 MPa 全量程精度 ±0.5 % F.S.
- 端口 1/4–1/2 英寸可選，材質(zhì)全 SUS316L，可應(yīng)對腐蝕性氣體/液體
典型用途：半導(dǎo)體 purge、燃料電池陽極低壓配氣、分析儀器載氣入口、實(shí)驗(yàn)室低壓標(biāo)準(zhǔn)氣體發(fā)生等。
1. 型號與流通能力
| 型號 | 端口 | Cv | 大流量 * | 適用管徑 |
|---|---|---|---|---|
| 6610-02 | Rc1/4 | 0.2 | 10 L/min | DN6-10 |
| 6610-03 | Rc3/8 | 0.4 | 25 L/min | DN10-15 |
| 6610-04 | Rc1/2 | 0.7 | 50 L/min | DN15-20 |
*N?、0.1 MPa 入口、0.05 MPa 出口條件下實(shí)測值
2. 主要規(guī)格
- 入口壓力：0–1.0 MPa
- 出口調(diào)壓：0.005–0.4 MPa（5–400 kPa）
- 靈敏度：≤0.2 kPa
- 溫度范圍：-10–80 ℃（可選高溫 150 ℃型）
- 密封等級：ISO 15848-1 BH 級／He 漏率 ≤1×10?? Pa·m3/s
- 材質(zhì)接液：SUS316L + 氟橡膠（FKM）/FFKM 可選
- 重量：0.7 kg（1/4 型）
3. 結(jié)構(gòu)亮點(diǎn)
① 金屬波紋管感知元件 → 無摩擦、無滯后，長期使用漂移＜0.3 %/年
② 平衡式閥芯 → 入口壓力波動(dòng) 0.05→0.8 MPa 時(shí)，出口變化＜±0.3 kPa
③ 雙密封設(shè)計(jì) → 滿足 SEMI F70、FCG 無泄漏要求
④ 面板/底板兩用 → 30×30 mm 方板，可直接裝入 19″ 機(jī)架
⑤ 內(nèi)置 40 μm 過濾網(wǎng) → 防止顆粒卡閥，可在線沖洗
② 平衡式閥芯 → 入口壓力波動(dòng) 0.05→0.8 MPa 時(shí)，出口變化＜±0.3 kPa
③ 雙密封設(shè)計(jì) → 滿足 SEMI F70、FCG 無泄漏要求
④ 面板/底板兩用 → 30×30 mm 方板，可直接裝入 19″ 機(jī)架
⑤ 內(nèi)置 40 μm 過濾網(wǎng) → 防止顆粒卡閥，可在線沖洗
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