半導體工藝氣氛測量低濃度氧分析儀

半導體工藝氣氛測量低濃度氧分析儀

1. 該設備采用合金式酸素（氧）傳感器，對可燃性氣體的感知能力強，并且傳感器可以單觸更換。在低濃度氧（不足1％）時，也可以進行分解能0.01％的測定。
2. 設備能夠通過計算來確認氣體置換時間，可以設置充填氣體必要的酸素濃度，計算出達到此濃度所需的置換時間，指示燈閃爍時，置換完成。
3. 采用簡單的插入式連接，方便地連接到已有的配管。
4. 設備便攜，由于采用干電池、質量輕，也適合野外試驗槽等。
5. 設備采用兩個鍵，操作簡單，適合各種工業(yè)爐和裝置啟動時的氣體置換的標準化和品質管理，以及半導體制造工序，燃燒，廢氣等管理等。

1. 該設備采用合金式酸素（氧）傳感器，對可燃性氣體的感知能力強，并且傳感器可以單觸更換。在低濃度氧（不足1％）時，也可以進行分解能0.01％的測定。
2. 設備能夠通過計算來確認氣體置換時間，可以設置充填氣體必要的酸素濃度，計算出達到此濃度所需的置換時間，指示燈閃爍時，置換完成。
3. 采用簡單的插入式連接，方便地連接到已有的配管。
4. 設備便攜，由于采用干電池、質量輕，也適合野外試驗槽等。
5. 設備采用兩個鍵，操作簡單，適合各種工業(yè)爐和裝置啟動時的氣體置換的標準化和品質管理，以及半導體制造工序，燃燒，廢氣等管理等。